气流循环精密温度冷热高低冲击机热流仪在芯片IC器件测试中的应用

一、概述：

芯片测试非常重要，甚至能够影响芯片最终的成品，影响消费者对芯片产品的口碑表现。如果没有经过测试就将芯片上市，一旦出现问题，可能连问题出在哪都找不到。跳过芯片测试直接上市，如果出现问题，不仅会涉及大量芯片造成巨大损失，而且无法定位问题。芯片量产前测试的目的是解决不确定性，找出芯片运行过程中是否存在功耗过大、温度过高等问题。

芯片测试可以：保证芯片质量、缩短芯片上市时间、提高公司利润。芯片测试在整个芯片生产流程中占据重要位置，在芯片设计和制造过程中间的位置。属于芯片测试的部分分别有：

Prototype test，原型测试一般在芯片刚设计完后，交给Fab流片后进行的测试，需要经过多次修改，才能最终确定测试方案；

Product Test，量产测试是Fab批量代工后进行的测试，主要有WAT，CP，FT等类型；

Diagnosis，诊断测试是针对fail的芯片，通过一系列的测试查找root cause，最终目标的改进方法，提高良率；

Failure Analysis，失效分析一般是把芯片物理切开，进行微观结构方面的debug，分析芯片失效root cause。

二、TR-800精密温度冷热高低冲击机介绍

上海厚能精密温度冷热高低冲击机

上海厚能自动化设备有限公司生产的TR-800精密温度冷热高低冲击机的性能达到了国际的标准。TR-800以速度、精度和可靠性作为基本设计标准，提供了非常先进的温度测试能力。系统温度从+125℃到-55℃之间转换仅需10秒，并有更广泛的温度范围-80℃到+225℃；经长期的多工况验证，满足更多生产环境和工程环境的要求。TR-800是纯压缩机制冷，无需液氮或任何其他消耗性制冷剂。

三、TR-800精密温度冷热高低冲击机特点

温度变化速率快，+120℃至-55℃之间转换仅需10秒。广泛的温度范围，+225℃至-80℃

结构紧凑，移动式方便

触摸屏操作，人机交互界面·快速DUT温度稳定时间

温控精度±1℃，显示精度0.1℃

气流量可高达20SCFM

采用快速热氟化霜模式快速清除管内水气集聚

上海厚能精密温度冷热高低冲击机-热流仪操作界面

四、TR-800精密温度冷热高低冲击机应用范围

特性分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验，如∶半导体芯片闪存Flash/EMMCPCBS、IC器件、MCMS、小型模块组件光通讯（如收发器 Transceiver 高低温测试、SFP光模块高低温测试等）其它电子行业

五、TR-800精密温度冷热高低冲击机测试标准

符合美国军用标准（MIL系统）测试要求国内军用元件（GJB系统）测试要求JEDEC测试要求的元件测试要求

六、TR-800精密温度冷热高低冲击机规格参数

温度范围

-80 ºC 至 + 225 ºC

典型温度转换率

-55 ºC 至 + 125 ºC / + 125 ºC 至 -55 ºC ;

温度精度

≤ 10 秒

显示/设置温度

± 1 ºC

系统气流量

4 ~ 20 SCFM ( 1.9L/s ~ 9.5L/S)

操作

高清彩色触摸屏，实用美观的界面设计

操作模式

手动模式或自动循环模式

检测模式

Air, DUT

温度控制

内部空气 TC 和远程-外部 T, K, RTD (TC 传感

制冷剂

HCFC环保型冷媒

升降控制

气动控制，手动或通过远程接口操作

手臂延伸尺寸

1400mm

最高/最低尺寸

720 ~ 1220mm

隔热罩尺寸

标准： 140mm； 提供各种类型定制

噪音

≤ 65dB

重量

265Kg

电源要求

220VAC单相,50Hz,30A

气体

清洁空气；不含油脂、水分和颗粒

进气温度

+15 ºC 至 + 25 ºC

进气压力

90 ~ 110 Psig ( 6.2 ~ 7.6Bar)

进气流量

15 ~ 29 SCFM (7.2至14.2L/s)

露点

≤ 10 ºC

气体含油量

≤ 0.01 ppm，过滤至0.01微米的油污污染物

环境要求

温度

+15C至+ 28C

相对湿度

20%至65%

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IC芯片热流仪用于车规级芯片高低温测试

　　IC芯片热流仪是应用于芯片、微电子器件、集成电路、光通讯中等特性分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验，随着汽车行业的发展，IC芯片热流仪在车规级芯片高低温测试中也是有一定的应用。

　　在车规级芯片可靠性测试方面，冠亚制冷IC芯片热流仪有着不同于传统高低温箱的独特优势:温度变化速率快，实时监测待测元件真实温度，亦可随时调整冲击气流温度，可针对PCB电路板上众多元器件中的某一单个IC，单独进行高低温冲击，而不影响周边其它器件。

　　车规级IC芯片热流仪应用在汽车行业芯片测试过程中，按照要求的温度范围进行搭配模拟和混合信号测试仪，在电工作下检查不同温度下所涉及到的元器件或模块各项功能是否正常。冠亚制冷车规级IC芯片热流仪温度范围比较宽，可以根据客户要求进行选择不同温度范围不同型号的设备，通过使用该设备，大幅提高工作效率，并能及时评估研发过程中的潜在问题，使产品符合汽车电子产品标准!

　　冠亚制冷车规级IC芯片热流仪高低温测试方法：

　　1、将被测芯片或模块放置在测试台上，将IC芯片热流仪的隔热风罩压在相应测试台上(产品放在测试台中)；

　　2、设置需要测试的温度范围；

　　3、启动IC芯片热流仪，将干燥洁净的压缩空气通入高低温测试机内部制冷机进行低温处理，然后空气经由管路到达加热头进行升温，气流通过隔热风罩进入测试腔.隔热风罩中的温度传感器可实时监测当前腔体内温度；

4、在汽车电子芯片测试平台下，IC芯片热流仪快速升降温至要求的设定温度，实时检测车规芯片在设定温度下的在电工作状态等相关参数，对于产品分析，工艺改进以及批次的定向品质追溯提供确实的数据依据。

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