2024年全球与中国射频(RF) MEMS器件行业总体规模报告

射频(RF) MEMS器件市场报告主要研究：

射频(RF) MEMS器件市场规模： 产能、产量、销售、产值、价格、成本、利润等

射频(RF) MEMS器件行业竞争分析：原材料、市场应用、产品种类、市场需求、市场供给，下游市场分析、供应链分析、主要企业情况、市场份额、并购、扩张等

报告摘要

本文侧重研究全球射频(RF) MEMS器件总体规模及主要厂商占有率和排名，主要统计指标包括射频(RF) MEMS器件产能、销量、销售收入、价格、市场份额及排名等，企业数据主要侧重近三年行业内主要厂商的市场销售情况。地区层面，主要分析过去五年和未来五年行业内主要生产地区和主要消费地区的规模及趋势。

全球及中国主要厂商如下，也可根据客户要求增加目标企业：

AirMems

Analog Devices

Broadcom

Brodcom

Menlo Micro

Murata

NEDITEK

OMRON

Qorvo

Seiko Epson

Teledyne DALSA

Texas Instruments (TI)

Toshiba

苏州能讯高能半导体有限公司

北京中科汉天下电子技术有限公司

诺思（天津）微系统有限责任公司

深圳飞骧科技有限公司

锐迪科微电子（上海）有限公司

唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司

美泰电子科技有限公司

江苏微远芯微系统技术有限公司

苏州希美微纳系统有限公司

北京时代民芯科技有限公司

按照不同产品类型，包括如下几个类别：

射频 MEMS 开关

射频 MEMS 移相器

射频 MEMS 滤波器

射频 MEMS 天线

其他

按照不同应用，主要包括如下几个方面：

消费品

医疗

汽车与工业

其他

报告包含的主要地区和国家：

北美（美国和加拿大）

欧洲（德国、英国、法国、意大利和其他欧洲国家）

亚太（中国、日本、韩国、中国台湾地区、东南亚、印度等）

拉美（墨西哥和巴西等）

中东及非洲地区（土耳其和沙特等）

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报告正文共10章，各章节主要内容如下：

第1章：报告统计范围、所属行业、产品细分及主要的下游市场，行业现状及进入壁垒等

第2章：国内外主要企业市场占有率及排名

第3章：全球总体规模（产能、产量、销量、需求量、销售收入等数据，2019-2030年）

第4章：全球射频(RF) MEMS器件主要地区分析，包括销量、销售收入等

第5章：全球射频(RF) MEMS器件主要厂商基本情况介绍，包括公司简介、射频(RF) MEMS器件产品型号、销量、收入、价格及最新动态等

第6章：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量、收入、价格及份额等

第7章：全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量、收入、价格及份额等

第8章：行业发展趋势、驱动因素、行业政策等

第9章：产业链、上下游分析、生产模式、销售，模式及销售渠道分析等

第10章：报告结论

报告内容目录

1统计范围及所属行业 1

1.1 产品定义

1.2 所属行业

1.3 产品分类，按产品类型

1.3.1 按产品类型细分，全球射频(RF) MEMS器件市场规模2019 VS 2023 VS 2030

1.4 产品分类，按应用

1.4.1 按应用细分，全球射频(RF) MEMS器件市场规模2019 VS 2023 VS 2030

1.5 行业发展现状分析

1.5.1 射频(RF) MEMS器件行业发展总体概况

1.5.2 射频(RF) MEMS器件行业发展主要特点

1.5.3 射频(RF) MEMS器件行业发展影响因素

1.5.4 进入行业壁垒

2 国内外市场占有率及排名

2.1 全球市场，近三年射频(RF) MEMS器件主要企业占有率及排名（按销量）

2.1.1 近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场占有率（按销量，2021-2024）

2.1.2 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场排名（按销量）

2.1.3 近三年全球市场主要企业射频(RF) MEMS器件销量（2021-2024）

2.2 全球市场，近三年射频(RF) MEMS器件主要企业占有率及排名（按收入）

2.2.1 近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场占有率（按收入，2021-2024）

2.2.2 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场排名（按收入）

2.2.3 近三年全球市场主要企业射频(RF) MEMS器件销售收入（2021-2024）

2.3 全球市场，近三年主要企业射频(RF) MEMS器件销售价格（2021-2024）

2.4 中国市场，近三年射频(RF) MEMS器件主要企业占有率及排名（按销量）

2.4.1 近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场占有率（按销量，2021-2024）

2.4.2 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场排名（按销量）

2.4.3 近三年中国市场主要企业射频(RF) MEMS器件销量（2021-2024）

2.5 中国市场，近三年射频(RF) MEMS器件主要企业占有率及排名（按收入）

2.5.1 近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场占有率（按收入，2021-2024）

2.5.2 203年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场排名（按收入）

2.5.3 近三年中国市场主要企业射频(RF) MEMS器件销售收入（2021-2024）

2.6 全球主要厂商射频(RF) MEMS器件总部及产地分布

2.7 全球主要厂商成立时间及射频(RF) MEMS器件商业化日期

2.8 全球主要厂商射频(RF) MEMS器件产品类型及应用

2.9 射频(RF) MEMS器件行业集中度、竞争程度分析

2.9.1 射频(RF) MEMS器件行业集中度分析：2023年全球Top 5生产商市场份额

2.9.2 全球射频(RF) MEMS器件第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额

2.10 新增投资及市场并购活动

3全球射频(RF) MEMS器件总体规模分析

3.1 全球射频(RF) MEMS器件供需现状及预测（2019-2030）

3.1.1 全球射频(RF) MEMS器件产能、产量、产能利用率及发展趋势（2019-2030）

3.1.2 全球射频(RF) MEMS器件产量、需求量及发展趋势（2019-2030）

3.2 全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量及发展趋势（2019-2030）

3.2.1 全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量（2019-2024）

3.2.2 全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量（2025-2030）

3.2.3 全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量市场份额（2019-2030）

3.3 中国射频(RF) MEMS器件供需现状及预测（2019-2030）

3.3.1 中国射频(RF) MEMS器件产能、产量、产能利用率及发展趋势（2019-2030）

3.3.2 中国射频(RF) MEMS器件产量、市场需求量及发展趋势（2019-2030）

3.4 全球射频(RF) MEMS器件销量及销售额

3.4.1 全球市场射频(RF) MEMS器件销售额（2019-2030）

3.4.2 全球市场射频(RF) MEMS器件销量（2019-2030）

3.4.3 全球市场射频(RF) MEMS器件价格趋势（2019-2030）

4 全球射频(RF) MEMS器件主要地区分析

4.1 全球主要地区射频(RF) MEMS器件市场规模分析：2019 VS 2023 VS 2030

4.1.1 全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入及市场份额（2019-2024年）

4.1.2 全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入预测（2025-2030年）

4.2 全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量分析：2019 VS 2023 VS 2030

4.2.1 全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量及市场份额（2019-2024年）

4.2.2 全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量及市场份额预测（2025-2030）

4.3 北美市场射频(RF) MEMS器件销量、收入及增长率（2019-2030）

4.4 欧洲市场射频(RF) MEMS器件销量、收入及增长率（2019-2030）

4.5 中国市场射频(RF) MEMS器件销量、收入及增长率（2019-2030）

4.6 日本市场射频(RF) MEMS器件销量、收入及增长率（2019-2030）

4.7 东南亚市场射频(RF) MEMS器件销量、收入及增长率（2019-2030）

4.8 印度市场射频(RF) MEMS器件销量、收入及增长率（2019-2030）

5全球主要生产商分析

5.1 生产商一

5.1.1生产商一基本信息、射频(RF) MEMS器件生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.1.2 生产商一k 射频(RF) MEMS器件产品规格、参数及市场应用

5.1.3 生产商一k 射频(RF) MEMS器件销量、收入、价格及毛利率（2019-2024）

5.1.4 生产商一k公司简介及主要业务

5.1.5 生产商一k企业最新动态

5.2 生产商二

5.2.1 生产商二基本信息、射频(RF) MEMS器件生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

5.2.2 生产商二 射频(RF) MEMS器件产品规格、参数及市场应用

5.2.3 生产商二 射频(RF) MEMS器件销量、收入、价格及毛利率（2019-2024）

5.2.4 生产商二公司简介及主要业务

5.2.5 生产商二企业最新动态

6 不同产品类型射频(RF) MEMS器件分析

6.1 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量（2019-2030）

6.1.1 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量及市场份额（2019-2024）

6.1.2 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量预测（2025-2030）

6.2 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入（2019-2030）

6.2.1 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入及市场份额（2019-2024）

6.2.2 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入预测（2025-2030）

6.3 全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件价格走势（2019-2030）

7 不同应用射频(RF) MEMS器件分析

7.1 全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量（2019-2030）

7.1.1 全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量及市场份额（2019-2024）

7.1.2 全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量预测（2025-2030）

7.2 全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入（2019-2030）

7.2.1 全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入及市场份额（2019-2024）

7.2.2 全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入预测（2025-2030）

7.3 全球不同应用射频(RF) MEMS器件价格走势（2019-2030）

8 行业发展环境分析

8.1 射频(RF) MEMS器件行业发展趋势

8.2 射频(RF) MEMS器件行业主要驱动因素

8.3 射频(RF) MEMS器件中国企业SWOT分析

8.4 中国射频(RF) MEMS器件行业政策环境分析

8.4.1 行业主管部门及监管体制

8.4.2 行业相关政策动向

8.4.3 行业相关规划

9 行业供应链分析

9.1射频(RF) MEMS器件行业产业链简介

9.1.1射频(RF) MEMS器件行业供应链分析

9.1.2 射频(RF) MEMS器件主要原料及供应情况

9.1.3射频(RF) MEMS器件行业主要下游客户

9.2 射频(RF) MEMS器件行业采购模式

9.3射频(RF) MEMS器件行业生产模式

9.4射频(RF) MEMS器件行业销售模式及销售渠道

10 研究成果及结论

表格目录

表 1：按产品类型细分，全球射频(RF) MEMS器件市场规模2019 VS 2023 VS 2030（万元）

表 2：按应用细分，全球射频(RF) MEMS器件市场规模（CAGR）2019 VS 2023 VS 2030（万元）

表 3：射频(RF) MEMS器件行业发展主要特点

表 4：射频(RF) MEMS器件行业发展有利因素分析

表 5：射频(RF) MEMS器件行业发展不利因素分析

表 6：进入射频(RF) MEMS器件行业壁垒

表 7：近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场占有率（按销量，2021-2024）

表 8： 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场排名（按销量）

表 9：近三年全球市场主要企业射频(RF) MEMS器件销量（2021-2024）

表 10：近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场占有率（按收入，2021-2024）

表 11： 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在国际市场排名（按收入）

表 12：近三年全球市场主要企业射频(RF) MEMS器件销售收入（2021-2024）

表 13：近三年全球市场主要企业射频(RF) MEMS器件销售价格（2021-2024）

表 14：近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场占有率（按销量，2021-2024）

表 15： 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场排名（按销量）

表 16：近三年中国市场主要企业射频(RF) MEMS器件销量（2021-2024）

表 17：近三年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场占有率（按收入，2021-2024）

表 18： 2023年射频(RF) MEMS器件主要企业在中国市场排名（按收入）

表 19：近三年中国市场主要企业射频(RF) MEMS器件销售收入（2021-2024）

表 20：全球主要厂商射频(RF) MEMS器件总部及产地分布

表 21：全球主要厂商成立时间及射频(RF) MEMS器件商业化日期

表 22：全球主要厂商射频(RF) MEMS器件产品类型及应用

表 23： 2023年全球射频(RF) MEMS器件主要厂商市场地位（第一梯队、第二梯队和第三梯队）

表 24：全球射频(RF) MEMS器件市场投资、并购等现状分析

表 25：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量增速（CAGR）：（2019 VS 2023 VS 2030）

表 26：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量（2019 VS 2023 VS 2030）

表 27：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量（2019-2024）

表 28：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量（2025-2030）

表 29：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量市场份额（2019-2024）

表 30：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量（2025-2030）

表 31：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入增速：（2019 VS 2023 VS 2030）

表 32：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入（2019-2024）

表 33：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入市场份额（2019-2024）

表 34：全球主要地区射频(RF) MEMS器件收入（2025-2030）

表 35：全球主要地区射频(RF) MEMS器件收入市场份额（2025-2030）

表 36：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量：2019 VS 2023 VS 2030

表 37：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量（2019-2024）

表 38：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量市场份额（2019-2024）

表 39：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量（2025-2030）

表 40：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销量份额（2025-2030）

表 41： 生产商一 射频(RF) MEMS器件生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

表 42： 生产商一 射频(RF) MEMS器件产品规格、参数及市场应用

表 43： 生产商一 射频(RF) MEMS器件销量、收入、价格及毛利率（2019-2024）

表 44： 生产商一公司简介及主要业务

表 45： 生产商一企业最新动态

表 46： 生产商二 射频(RF) MEMS器件生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

表 47： 生产商二 射频(RF) MEMS器件产品规格、参数及市场应用

表 48： 生产商二 射频(RF) MEMS器件销量、收入、价格及毛利率（2019-2024）

表 49： 生产商二公司简介及主要业务

表 50： 生产商二企业最新动态

表 86：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量（2019-2024年）

表 87：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量市场份额（2019-2024）

表 88：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量预测（2025-2030）

表 89：全球市场不同产品类型射频(RF) MEMS器件销量市场份额预测（2025-2030）

表 90：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入（2019-2024年）

表 91：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入市场份额（2019-2024）

表 92：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入预测（2025-2030）

表 93：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件收入市场份额预测（2025-2030）

表 94：全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量（2019-2024年）

表 95：全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量市场份额（2019-2024）

表 96：全球不同应用射频(RF) MEMS器件销量预测（2025-2030

表 97：全球市场不同应用射频(RF) MEMS器件销量市场份额预测（2025-2030）

表 98：全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入（2019-2024年）

表 99：全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入市场份额（2019-2024）

表 100：全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入预测（2025-2030）

表 101：全球不同应用射频(RF) MEMS器件收入市场份额预测（2025-2030）

表 102：射频(RF) MEMS器件行业发展趋势

表 103：射频(RF) MEMS器件行业主要驱动因素

表 104：射频(RF) MEMS器件行业供应链分析

表 105：射频(RF) MEMS器件上游原料供应商

表 106：射频(RF) MEMS器件行业主要下游客户

表 107：射频(RF) MEMS器件典型经销商

图表目录

图 1：射频(RF) MEMS器件产品图片

图 2：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件销售额2019 VS 2023 VS 2030

图 3：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件市场份额2023 & 2030

图 13：全球不同应用销售额2019 VS 2023 VS 2030

图 14：全球不同应用射频(RF) MEMS器件市场份额2023 & 2030

图 24： 2023年全球前五大生产商射频(RF) MEMS器件市场份额

图 25： 2023年全球射频(RF) MEMS器件第一梯队、第二梯队和第三梯队厂商及市场份额

图 26：全球射频(RF) MEMS器件产能、产量、产能利用率及发展趋势（2019-2030）

图 27：全球射频(RF) MEMS器件产量、需求量及发展趋势（2019-2030）

图 28：全球主要地区射频(RF) MEMS器件产量市场份额（2019-2030）

图 29：中国射频(RF) MEMS器件产能、产量、产能利用率及发展趋势（2019-2030

图 30：中国射频(RF) MEMS器件产量、市场需求量及发展趋势（2019-2030）

图 31：全球射频(RF) MEMS器件市场销售额及增长率:（2019-2030）

图 32：全球市场射频(RF) MEMS器件市场规模：2019 VS 2023 VS 2030（万元）

图 33：全球市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 34：全球市场射频(RF) MEMS器件价格趋势（2019-2030）

图 35：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入（2019 VS 2023 VS 2030）

图 36：全球主要地区射频(RF) MEMS器件销售收入市场份额（2018 VS 2022）

图 37：北美市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 38：北美市场射频(RF) MEMS器件收入及增长率（2019-2030）

图 39：欧洲市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 40：欧洲市场射频(RF) MEMS器件收入及增长率（2019-2030）

图 41：中国市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 42：中国市场射频(RF) MEMS器件收入及增长率（2019-2030）

图 43：日本市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 44：日本市场射频(RF) MEMS器件收入及增长率（2019-2030）

图 45：东南亚市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 46：东南亚市场射频(RF) MEMS器件收入及增长率（2019-2030）

图 47：印度市场射频(RF) MEMS器件销量及增长率（2019-2030）

图 48：印度市场射频(RF) MEMS器件收入及增长率（2019-2030）

图 49：全球不同产品类型射频(RF) MEMS器件价格走势（2019-2030）

图 50：全球不同应用射频(RF) MEMS器件价格走势（2019-2030）

图 51：射频(RF) MEMS器件中国企业SWOT分析

图 52：射频(RF) MEMS器件产业链

图 53：射频(RF) MEMS器件行业采购模式分析

图 54：射频(RF) MEMS器件行业生产模式

图 55：射频(RF) MEMS器件行业销售模式分析

同时，辰宇信息咨询专注于全球和中国细分市场研究，在化工材料、机械设备、医疗设备及耗材、电子半导体、软件、包装、网络及通信、汽车交通、医疗护理、原料药品及保健品等领域具有丰富的市场调研经验。

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集成硅光传感器时代，「意子信息」想用纳米光子晶体结合MEMS做出了极高精度的光量子传感器

采访：刘源、李子月

作者：刘源、李子月

编辑：石亚琼

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传感器种类太多，我们以惯导IMU为例来说明，惯导IMU分为三类：

1. 机械类IMU：最古老的IMU类型，精度高，但昂贵、体积大，现在市场上比较少见

2. 光学类IMU，核心部件是“激光光路”或“光学谐振腔”：又分为激光RLG、光纤FOG、硅光IMU（本文所述新产品ACA）。光学类精度高，但RLG和FOG都只能作为陀螺仪，价格昂贵且体积偏大。

3. MEMS压电/电容IMU：其中，MEMS工艺的电容IMU虽然成本低、体积小，但精度差，测量带宽有限。

这几类IMU应用场景各有不同，性能指标例如零偏稳定性、比例因子、随机游走、功耗、体积、带宽、冲击振动、MTBF等指标各有千秋。可分为消费级、工业级和防务/航空级。基于MEMS的低端消费级应用包括AR、可穿戴电子设备、室内导航，单位价格在1-5美元之间。高端工业级应用包括自动驾驶车辆、机器人、物联网、无人机和电影工业，价格在1000美元以内，这两个级别方向的公司包括Honeywell、Xsens、Analog Devices、Bosch、TDK InvenSense和life.augumented等。大尺寸防务级应用价格则将高于10万美元，此领域公司包括Honeywell、KVH、Northrop Grumman和emcore。

常见惯导IMU产品图片

如果用硅基MEMS工艺结合纳米光学谐振腔，并且在晶圆上就将光路和其他硅基器件直接集成在一起，这就是集成硅光MEMS传感器 。它有四个跨时代的意义和好处：

1. 精度高，光学精度

2. 尺寸微小，功耗也低，因为光学谐振腔通过集成硅光工艺已经缩小到数微米级别了

3. 低成本，量大，因为所需硅基半导体工艺成熟，成本优势明显，不涉及到先进制程，很多Foundry厂都能够生产

4. On-chip，该技术路径最终实现不需要分别封装成多个芯片或分立器件再独立安装

这将对传统大部分传感器，例如IMU、陀螺仪、磁力计等，和光学相控阵，都产生颠覆性影响。但为什么这么有用但一直没出现这样的新产品？因为“技术难点，也就是最关键的，就是如何优化设计使数微米级别的集成光腔可以和满足相应性能需求的MEMS结构高效耦合，并且可以通过成熟硅光光刻线量产，且与MEMS工艺相结合，做到低成本量产性的同时保持高性能测量能力。” -加州理工学院应用物理与量子工程博士罗杰如此说到。罗杰曾在Science和Nature Physics上发表光量子芯片论文，参与美国能源部先进量子测试平台并领导超导量子计算芯片研发，并在量子通讯和量子计算领域掌握三项美国专利。

加州理工一直在进行这方面的研究和实用，例如获得2017年诺奖的激光干涉引力波天文台就是运用了相似的光-机械效应，加州理工在将光-机械耦合技术小型化到芯片上也走在世界前沿。罗杰的两位小伙伴，任恒江和杨帆也一直进行着这方面的研究，任恒江为加州理工学院电子工程与量子工程博士，其研发的机械谐振腔打破了量子相干性世界纪录，曾任职于新加坡高性能计算研究所，并在量子通讯和量子计算领域掌握2项美国专利。杨帆为伊利诺伊大学香槟分校航空航天工程博士，熟悉设计制造MEMS元件。Stillwell奖金获得者，从事纳米材料和器件性质研究并发表多篇高质量论文，曾任伊利诺伊商业咨询公司高级经理。

现在这三位加州理工和伊利诺伊的博士们准备将集成硅光传感器商业化，批量生产广泛应用，应用场景包括：地震和油气资源探索、机械震动监测、智能预测性维护（CBM）、驾驶状态监测与评估、先进无人机/机器人、高级别自动驾驶、复杂环境高精度导航、先进AR/VR应用、电影及运动员姿态捕捉和监测、光学相控阵、激光雷达等 。在2019年，三位创始人在美国特拉华成立了公司“Anyon Computing”，中文名“意子信息”，专注于集成硅光MEMS传感器硬件以及相关技术应用量子芯片的研发和销售。

光量子惯性传感器IMU ACA-101

意子信息的第一款产品取名为“光量子惯性传感器IMU ACA-101”，精度可达1μg Hz-1/2。是常见工业级IMU精度百倍左右。带宽>20k Hz，将有效带宽扩大百倍以上。ACA-101测量角度精度类比激光RLG的精度略差一点，但激光RLG售价高达数万人民币，而ACA-101成本只有一百元人民币，内部关键部分2毫米长，2毫米宽，几十微米深，光电封装后体积16立方厘米左右。

ACA-101未封装照片

罗杰介绍它的核心是20微米长、2微米宽、几十微米深的光学谐振腔 。简单讲，它的测量原理通过测位移->反算惯性力->再反算加速度，类似弹簧秤：核心器件包含一个微质量块（Proof-Mass），通过机械（MEMS）结构悬浮，光腔的一端固定、另一端和Proof-Mass相连，在外界加速度的作用下Proof-Mass产生微小的位移。微小位移改变了光强的光学共振的频率，从而可以准确测量该微小位移，进而获得准确的加速度（或者通过科里奥利力原理测量角速度）。该光学谐振腔目前能做到飞米级分辨率，10^-15米，的位移测量，也就是一个质子或中子的直径，已经达到位移测量量子极限。所以能够做到高分辨率、高精度、低底噪声的加速度测量。

ACA-101核心光学部分电镜扫描

弹簧秤原理图

ACA-101原理图

罗杰告诉36氪记者，硅光在通信方面的应用在30年前就已经开始了，主要应用于通信设备基站、中继器。近几年，集成硅光的其他应用开始兴起，包括集成硅光传感与集成硅光计算等。ACA-101第一批demo是用电子束曝光机做出来的，大规模批量生产需要把产线移植到DUV光刻机，意子将与先进硅光代工厂共同推进相关制程在193纳米光刻线上的实现，pdk定义，design rule定义等等。届时，各大晶圆厂商都能进行光量子传感器的生产了。

集成硅光传感器适用行业

硅光芯片产业在过去5年内翻了数倍，在未来5-10年内将达到顶峰，市场体量将达200-300亿美元量级。随着越来越多集成硅光产品的出现，整个产业共同推动相关代工厂在流片工艺和紧凑封装上的进步，高性能硅光芯片和相关元件的低成本生产和小型化方面将获得极大的推动。期待越来越多的消费级产品能用到硅光惯性传感器。

集成硅光传感器市场体量

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